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SMC プロセスポンプクリーンルーム仕様
プロセスポンプクリーンルーム仕様の製品情報
| 組付環境 | クリーンルーム |
|---|---|
| 駆動方式 | 自動運転 |
| 継手種類 | LQ2 |
| IN側継手サイズ | 5 |
| OUT側継手サイズ | 5 |
| ねじの種類 | Rc |
| 吐出量 | 1~13L/min |
| 平均吐出圧力 | 0～0.4ＭPa |
| パイロットエア圧力 | 0.2～0.5ＭPa |
| 使用流体温度 | 0～100℃（凍結なきこと、ヒートサイクルがかからないこと） |
| 最高使用粘度 | 1000mPa・s |
| 質量 | 2.1kg |
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